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Conductor系列集成真空壓力控制器 | 產(chǎn)品介紹
點擊次數(shù):1766 時間:2021-01-05

 

引言: 前面發(fā)過有關(guān)真空壓力控制器應(yīng)用的文章,收到不少小伙伴后臺留言咨詢,此篇文章我們將帶領(lǐng)大家了解更多它的相關(guān)參數(shù)。

 

艾里卡特Conductor系列真空壓力控制器旨在快速控制抽真空過程的壓力,支持內(nèi)置真空傳感器或外接真空計,具有較寬的真空壓力測量/控制范圍(0.01 Torr至1000Torr)。

Conductor系列控制器集成了多種電容膜片真空計(CDG)用于測量系統(tǒng)的壓力。通過調(diào)節(jié)被抽出真空系統(tǒng)的氣流量與進入系統(tǒng)的氣流量達到平衡,從而調(diào)節(jié)系統(tǒng)真空度。

上游控制的計算示例:

真空泵的抽速:每秒2升 

維持腔體壓力:10 TorrA

所需流量:實際壓力÷標況壓力×抽速= 10 TorrA÷14.696 PSIA×2 l / s = 0.013×2 l / s = 1.6 SLPM

 

使用艾里卡特真空控制器在單獨氣體供應(yīng)裝置的上游進行壓力控制時,您無需擴大流量,只需使用較小的控制閥,即可提高控制性能并減少泄漏。

 

即使面對快速變化的過程工況(例如流量或溫度的波動),艾里卡特Conductor系列真空壓力控制器也能迅速控制并保持壓力穩(wěn)定在設(shè)定值。

 

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快速響應(yīng)

快速響應(yīng)的閥門和特殊的PID控制算法構(gòu)成了1毫秒的控制回路。

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控制J準

j度可溯源至NIST

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通訊連接

通過以下方式輕松與您的工業(yè)網(wǎng)絡(luò)協(xié)議集成:

  · Alicat*的多點RS-232串口通訊

  · RS-485串口

  · Modbus RTU(基于RS-232或RS-485)

  · Modbus TCP/IP

  · DeviceNet

  · EtherCAT

  · EtherNet/IP

  · Profibus

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背壓控

后置閥選項可以讓您的Conductor控制器控制過程腔體和真空泵之間的流量。將控制器安裝在過程腔體和真空泵之間,用于限制真空泵的抽氣流量,從而控制腔體的壓力上升或下降或維持穩(wěn)定。如果你無法在系統(tǒng)上游安裝壓力控制器,但又想j確控制系統(tǒng)壓力,就可以使用后置閥門的背壓控制器。

 

概況

壓力量程

絕壓量程(以高真空為基準)

10、100和1000 TorrA單傳感器模塊

1000&10 TorrA雙傳感器模塊

 

性能

量程比 ≅ 1000:1

- 常規(guī)j度校準,可溯源NIST:+/- 0.5%滿量程(零點漂移可通過真空去皮調(diào)整)

典型控制響應(yīng)時間:≥50ms(可調(diào))

傳感器響應(yīng)時間:2毫秒

- 顯示響應(yīng)時間:<10毫秒

- 傳感器預(yù)熱時間:*的預(yù)熱時間-2小時

  · 適用于大部分用途的-15分鐘

 

運行條件

- 氣體兼容性:與多種氣體兼容,包括大部分具有腐蝕性的氣體

  · 關(guān)于腐蝕性氣體可參閱Alicat氣體清單,查看接液材料的兼容性。此真空壓力控制器不適用于液態(tài)水

- 接液材料:302、303、304和430FR不銹鋼、黃銅、FKM和FFKM、氧化鋁、可選316L不銹鋼主體

- 工作溫度:+10至+ 50°C

- 傳感器損壞壓力:6 kTorrG(116 PSIG)

 

工藝連接件

Compression

- SAE

偉洛克®(包括管,VCO®和VCR®)

 

電氣接頭

- 6針鎖緊型工業(yè)接頭

標準8針mini-DIN接頭

8針螺紋型M12接頭

- 9針引腳

15針引腳

 

如果我們內(nèi)置的CDG真空傳感器無法滿足你的量程或性能的需求,或您想使用自己的真空傳感器,請與Alicat 中國代表處聯(lián)系以獲得協(xié)助,以確保您的控制器能夠快速穩(wěn)定的運行。

 

Conductor

用于真空控制的快速響應(yīng)絕壓控制器

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